新风经过初效，中效，和高效过滤器(99.995%相对于0.5UM)将清洁的空气送入超净间，在超净间循环后经超净间的回风口回到暖通系统后再行过滤。如此循环带出空气中的微粒子，逐步使车间的洁净度达到设计要求。

严重遵守以下标准：

各行业净化级别标准

行业分类 级别 0.1 1.000 10.000 100.000   10 100 1.000 10.000 100.000 半 导 体 工 业 拉单晶 ------ ------       扩散   ------       腐蚀、光刻、表面处理、金属蒸发 ------ ------       组装试验   ------ ------ ------ ------ 原料     ------     研磨   ------       包装         ------ 半成品贮藏       ------   激光工业 气体激光   ------       固体激光 ------ ------       半体激光、激光手术刀   ------       光 学 仪 器 镜片研磨   ------ ------ ------ ------ 刻标   ------       医用照相机加工、配镜、镜头组装   ------       胶片制造、干燥       ------   缩微胶片、显像、干燥   ------ ------     组装   ------ ------ ------   涂漆、       ------ ------ 记 时 精 密 仪 器 电子表、零件组装、火箭零件加工   ------       人造卫星控制器 ------ ------       高可靠性部件、装置   ------ ------     微型轴承 ------ ------       普通轴承         ------ 组装、检查   ------ ------ ------ ------ 电子计算机 磁鼓、磁带、磁盘   ------       加工、组装、试验、检查   ------ ------ ------ ------ 电电 气子 式机 计械 测　 器　 显象管   ------ ------     高可靠管、光导摄像管   ------       印制版       ------   小型继电器   ------ ------     精密仪器仪表   ------ ------ ------   零件、加工、组装、检查   ------ ------ ------ ------ 美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别 级别名称 级别限制 0.1υm 0.2υm 0.3υm 0.5υm 5υm 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 国际单位 英制单位 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283     M1.5 1 1240 35.5 265 3.50 106 3.00 35.3 1.00     M2   35000 99.1 757 21.5 309 8.75 100 2.83     M2.5 10 12400 350 2650 75.5 1060 30.0 353 10.0     M3   35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3     M3.5 100     26500 750 10600 300 3530 100     M4       75700 2140 30900 875 10000 283     M4.5 1000             35300 1000 247 7.00 M5               1000 2830 618 17.5 M5.5 10000             35300 10000 2470 70.0 M6               1000000 28300 6180 175 M6.5 100000             35300 100000 24700 700 M7               1000000 28300 61800 1750